На основу својих принципа рада, сензори притиска могу се категорисати у неколико типова, укључујући керамичке капацитивне, металне капацитивне, танкослојне мераче напрезања, мераче напрезања, силицијумске пиезорезистивне, силицијумске капацитивне и силицијумске резонантне типове. Међу њима, резонантни сензори притиска нуде највећу прецизност, постижући прецизност до 0,01% ФС у целом температурном опсегу (-40 степени до 85 степени). Због своје изузетне тачности, они се широко користе у апликацијама које захтевају изузетно високу прецизност притиска, као што су мерење дубине океана, референтни стандарди притиска, мерење параметара лета авиона и метеоролошко праћење. Разлози због којих силиконски резонантни сензори притиска постижу тако високо прецизно мерење притиска су следећи:
1. Основна структура силицијумског резонантног сензора притиска је симетрични двоструко-стегнути силицијумски резонатор. Резонантна фреквенција резонатора се мења са примењеним притиском. Пошто је фреквенција суштинска особина чврстих тела, она је мање подложна ниско{4}}шуму и показује минималне варијације са температуром. Овај природни ефекат филтрирања доводи до високог односа сигнала-на-шум.
2. Двострука-структура резонатора осигурава да када резонатор вибрира, нето спољна сила буде нула. Додатно, захваљујући употреби МЕМС технологије анодног везивања, цео резонатор ради у вакуумском окружењу, постижући висок фактор квалитета.
3. Током процеса пројектовања, структуре{1}}за ублажавање напрезања су уграђене у термички осетљиве области резонатора да би се термички стрес свео на минимум. Ово значајно смањује термички стрес на резонатору.
Производи силиконског резонантног сензора притиска компаније Кси'ан Михуи Тецхнологи постижу високо{0}}прецизно мерење притиска са тачношћу од 0,01% ФС у целом температурном опсегу. Нуде неупоредиву годишњу стабилност од 0,01% ФС и подржавају и фреквенцијски и РС485 дигитални излаз. Ови сензори покривају мерења апсолутног притиска од 100 кПа до 1 МПа. Спецификације су следеће:
Заинтересоване стране су добродошле да нас контактирају путем информација које се налазе на нашој веб страници.
